半导体加工设备是一个令人闻意的要求申请运动控制工程师。极端精度，可靠性和平滑度是绝对要求。与此同时，空间处于溢价。

在其中谎言。“Many times, when you need a motor for a small space, you have to make compromises,” says David Ma, technical project manager for Yaskawa America Inc. “Perhaps your encoder resolution isn’t precisely what you want, or maybe the power density isn’t what you want.”

来自Yaskawa的新SGMMV紧凑型伺服电机避免了这些妥协。

电机有两种法兰尺寸：15×15毫米，25×25毫米。较小的型号可提供3.3,5.5和11瓦的输出。额定扭矩范围为0.01至0.035牛顿仪表。越大，输出为10,20和30瓦。额定扭矩范围为0.032至0.095牛顿仪表。所有六款电机的额定速度为3,000 rpm，最大速度为6,000 rpm。

电机在24或48 VDC上运行。较大的尺寸也可以与200 Vac电源或保持制动器一起使用。

“我们设法在小包装中包装了很多功率密度，”马斯说。

电机利用了Yaskawa为其Sigma 5的线路开发的Motor绕组和永磁技术中的许多优化。伺服电机。

电机配有17位绝对编码器。“传统上，在尝试在小包装中开发伺服电机时，您必须制作的妥协是您最终获得了一个非常标准的编码器，例如正交编码器，”MA解释。“在该大小，正交编码器支持10位或1,024计数的分辨率。

“17位编码器为您提供超过100,000个计数 - 一个数量级的分辨率。”

绝对编码器是半导体处理机等应用中的主要优点。“编码器使机器能够在整个运行寿命期间运行，而无需进行校准或归位，”MA说。

电机还具有串行数字接口而不是标准正交接口。“串行数字界面是一个更聪明的很多，”Notes MA。“例如，它可以将来自电机的配置数据发送到驱动器。结果，驱动器可以安全地操作电动机而不超过其额定电流和峰值电流。您只能通过智能数字界面获取。“

传统上，MA说，传统上，小型伺服驱动器无法支持数字通信界面。相反，驱动器将通过模拟扭矩信号，模拟速度信号或台阶和方向信号与电动机通信，这使得与步进电机进行通信。

实时数字通信接口具有许多优点。对于一个，与模拟接口相比，它提供了明显更好的抗噪性。它还为在电机，驱动器和控制器之间传递信号提供更多智能。数字接口支持位置，速度和扭矩的命令，它使控制器可以自动配置驱动器。

除了半导体制造设备之外，伺服电动机还可以在需要精确运动的任何应用中使用，但是空间有限。示例包括LCD制造设备，电子装配设备，金属加工机，机器人，检测和测量装置，自动化的车辆，自动分配系统，划线设备，线圈卷绕机和自动螺丝刀和营养系统。